由于SF6氣體監測具有優越的絕緣性能、滅弧性能和散熱性能,自20世紀60年代早期,SF6氣體監測就被應用在電力輸配電系統的高壓設備中,20世紀80年代早期,出現了第一臺用SF6氣體絕緣的中壓開關設備。目前SF6氣體監測在高壓領域主要應用于斷路器、GIS組合電器和復合開關,以SF6氣體為絕緣的設備中高壓、超高壓占絕對主導地位。在中壓領域,主要應用在以SF6氣體監測絕緣的高壓開關成套設備(C—GIS、充氣環網柜)、斷路器及負荷開關等中。除用于高壓開關設備外,SF6氣體也開始向中高壓輸變電設備中的互感器、電容器、避雷器、熔斷器、氣體絕緣輸電管道和變壓器等領域發展。
　　目前從12～1000kV的所有電壓等級的電力設備都在廣泛使用。中壓領域雖仍以真空開關為主,但以SF6氣體監測絕緣的設備增加很快。由于SF6氣體監測的應用范圍的擴大,對環境的影響在世界范圍內引起廣泛關注。2005年2月16日,旨在限制并減少全球溫室氣體排放的《京都議定書》正式生效,并規定發達國家應減少排放總量。SF6氣體監測是《京都議定書》中規定的限制排放的六種溫室氣體之一,SF6氣體監測向大氣的排放主要是通過電力輸變電設備在試驗研究、生產制造、運輸和運行以及檢修過程中產生的。如何趨利避害,安全使用SF6氣體監測已引起國內多方關注。